Substrate support with substrate heater and symmetric RF return

ÇUVALCI O.

Patent, BÖLÜM F Makine Mühendisliği; Aydınlatma; Isıtma; Silahlar; Tahrip Malzemeleri, 2013

• Fikri Mülkiyet: Patent
• Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: Amerika Birleşik Devletleri
• Başvuru Tarihi: 1.12.2013