Substrate support for substrate backside contamination control


ÇUVALCI O.

Patent, BÖLÜM F Makine Mühendisliği; Aydınlatma; Isıtma; Silahlar; Tahrip Malzemeleri, 2016

  • Fikri Mülkiyet: Patent
  • Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: Amerika Birleşik Devletleri
  • Başvuru Tarihi: 1.11.2016