Methods and apparatus for thermal based substrate processing with variable temperature capability
Patent, BÖLÜM F Makine Mühendisliği; Aydınlatma; Isıtma; Silahlar; Tahrip Malzemeleri, 2014
- Fikri Mülkiyet: Patent
- Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: Amerika Birleşik Devletleri
- Başvuru Tarihi: 1.12.2014