Substrate support plate with improved lift pin sealing
Patent, BÖLÜM F Makine Mühendisliği; Aydınlatma; Isıtma; Silahlar; Tahrip Malzemeleri, Buluşun Tescil No: Patent number: 10857655 , Standart Tescil, 2020, Tescil Edildi
- Fikri Mülkiyet: Patent
- Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: Amerika Birleşik Devletleri
- Buluşun Durumu: Tescil Edildi
- Başvuru Tarihi: 13.03.2013
- Tescil Tarihi: 8.12.2020