Substrate support plate with improved lift pin sealing


Çuvalcı O., Tzu G., Yuan X.

Patent, BÖLÜM F Makine Mühendisliği; Aydınlatma; Isıtma; Silahlar; Tahrip Malzemeleri, Buluşun Tescil No: Patent number: 10857655 , Standart Tescil, 2020, Tescil Edildi

  • Fikri Mülkiyet: Patent
  • Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: Amerika Birleşik Devletleri
  • Buluşun Durumu: Tescil Edildi
  • Başvuru Tarihi: 13.03.2013
  • Tescil Tarihi: 8.12.2020