Substrate support with controlled sealing gap


ÇUVALCI O.

Patent, BÖLÜM F Makine Mühendisliği; Aydınlatma; Isıtma; Silahlar; Tahrip Malzemeleri, 2017

  • Fikri Mülkiyet: Patent
  • Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: Amerika Birleşik Devletleri
  • Başvuru Tarihi: 1.01.2017