Low Temperature Fabrication of Microcrystalline Silicon Thin Films using Microwave Remote-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

---

YOSHIBA S., GOH L. W., Jeon M., ÜZÜM A., DHAMRIN M., KAMISAKO K.

24th European Photovoltaic Solar Energy Conference, Hamburg, Almanya, 21 - 24 Eylül 2009, ss.2890-2892, (Tam Metin Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
• Basıldığı Şehir: Hamburg
• Basıldığı Ülke: Almanya
• Sayfa Sayıları: ss.2890-2892
• Karadeniz Teknik Üniversitesi Adresli: Hayır