Low Temperature Fabrication of Microcrystalline Silicon Thin Films using Microwave Remote-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

YOSHIBA S., GOH L. W., Jeon M., ÜZÜM A., DHAMRIN M., KAMISAKO K.

24th European Photovoltaic Solar Energy Conference, Hamburg, Almanya, 21 - 24 Eylül 2009, ss.2890-2892

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Hamburg
  • Basıldığı Ülke: Almanya
  • Sayfa Sayıları: ss.2890-2892
  • Karadeniz Teknik Üniversitesi Adresli: Hayır